It-tqattigħ huwa l-proċess tal-qsim ta 'wejfer semikonduttur f'ċippa waħda, ġeneralment fuq il-bażi tal-wejfer lestiet il-proċess preċedenti u t-testijiet tal-prestazzjoni elettrika. Fl-istess ħin, bħala l-ewwel pass tal-ippakkjar tas-semikondutturi, il-kwalità tal-iskrizzjoni se taffettwa direttament l-affidabilità finali tal-prodott ippakkjat. It-tqattigħ tar-rota tat-tħin huwa wieħed mill-aktar metodi ta 'qtugħ użati fil-preżent. Ix-xafra magħmula minn partiċelli tad-djamanti u kolla hija mdawra b'veloċità għolja permezz tar-rabta tal-magħżel, tħin lil xulxin bil-materjal li jrid jiġi pproċessat, u tmigħ b'ċerta veloċità biex taqsam il-wejfer f'ċipep indipendenti. Id-difetti bħal qsim ikkawżat minn stress residwu u ħsara mekkanika fil-proċess huma l-problemi ewlenin li jirrestrinġu l-iżvilupp tar-rota tat-tħin.
Bl-iżvilupp mgħaġġel ta 'ċirkwiti integrati tas-semikondutturi, ir-rekwiżiti l-ġodda tal-effiċjenza u l-kwalità tal-iskrir ġew ikkombinati mal-karatteristiċi ta' materjali tal-ipproċessar differenti, mill-għażla tal-għodda tal-iskrir, l-ottimizzazzjoni tal-parametri tal-proċess u t-titjib tal-metodu tal-iskrizzjoni, eċċ, it-teknoloġija tal-qtugħ għandha ċertu żvilupp. Quddiem it-tendenza ta 'żvilupp tad-diversifikazzjoni tal-apparat, speċjalment fl-iżvilupp ta' rekwiżiti ta 'scribing mingħajr kuntatt bħal wejfers ultra-rqaq u wejfers MEMS li fihom strutturi mobbli, l-iskrib tar-roti tat-tħin ma jistax jiġi sodisfatt bis-sħiħ. Qtugħ bil-lejżer jista 'effettivament jevita l-problema tal-qsim tar-rota tat-tħin, u fl-istess ħin f'daqs żgħir u ċipep MEMS, jenfasizza l-vantaġġi dejjem aktar importanti, dan id-dokument se jiddiskuti prinċipalment l-applikazzjoni ewlenija tal-qtugħ inviżibbli bil-lejżer u l-qtugħ tal-ablazzjoni bil-lejżer żewġ tipi ta' qtugħ metodi.
Teknoloġija tal-qtugħ inviżibbli bil-lejżer
It-teknoloġija tal-qtugħ inviżibbli hija teknoloġija li tiffoka raġġ tal-laser ta 'wavelength trasluċidu permezz ta' lenti li tiffoka ottika fuq ġewwa tal-wejfer, li tifforma punt tat-tluq għas-segmentazzjoni ġewwa l-wejfer, jiġifieri, is-saff modifikat, u mbagħad tapplika forza esterna għall-wejfer biex taqsamha f'ċippa indipendenti. Għalhekk, it-teknoloġija tal-qtugħ inviżibbli ġeneralment tinkludi żewġ proċessi: qtugħ bil-lejżer u separazzjoni taċ-ċippa. Il-proċess tal-qtugħ bil-lejżer, skont il-materjali tal-ipproċessar differenti, jagħżel il-laser wavelength korrispondenti permezz ta 'passaġġ ottiku speċifiku, jiffoka fuq ġewwa tal-wejfer biex jifforma saff modifikat, is-saff modifikat fil-formazzjoni tal-istess ħin, se jifforma a xquq li jindika l-wiċċ pożittiv u negattiv tal-wejfer. Għal ċerta ħxuna tal-wejfer, il-laser jeħtieġ li jiffoka diversi drabi f'fond fokali differenti biex jiskennja l-parti ta 'ġewwa tal-wejfer, sabiex is-saffi modifikati jkunu konnessi ma' xulxin, u finalment jiffurmaw saff modifikat sħiħ adattat għas-segmentazzjoni, li huwa pass importanti biex tippromwovi s-separazzjoni taċ-ċippa.
Fuq il-bażi tal-formazzjoni tas-saff modifikat, il-proċess ta 'separazzjoni taċ-ċippa huwa li jagħmel is-saff modifikat jgħaddi mill-wiċċ u l-qiegħ tal-wejfer, u mbagħad separat f'ċippa indipendenti b'forza esterna bħal pressjoni ta' qsim, jew direttament billi tinfirex u qsim.
Teknoloġija tal-qtugħ tal-ablazzjoni bil-lejżer
Qtugħ tal-ablazzjoni bil-lejżer huwa l-użu ta 'laser pulsat ta' enerġija għolja, wara l-kollimazzjoni u l-iffukar tas-sistema ottika, il-formazzjoni ta 'densità għolja ta' enerġija, daqs tal-post tar-raġġ ta 'raġġ tal-lejżer mikron biss, li jaġixxi fuq il-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol, sabiex iż-żona irradjata tidwib lokali, gassifikazzjoni, sabiex it-tneħħija tal-materjal interchannel scribing, u finalment tikseb grooving jew scribing dirett.
It-tqattigħ tal-ablazzjoni bil-lejżer jieħu temperatura għolja bħala l-mekkaniżmu ta 'azzjoni, u fit-tarf tal-ablazzjoni se jifforma żona affettwata mis-sħana bil-fenomenu ta' recast frekwenti tal-materjal ipproċessat. Kif tikkontrolla d-daqs taż-żona affettwata mis-sħana huwa l-mod ewlieni biex tirrealizza l-iżvilupp tal-qtugħ bil-lejżer fl-industrija tas-semikondutturi. Il-lejżer korrispondenti u s-sistema ottika huma magħżula u kkonfigurati skond il-karatteristiċi ta 'assorbiment tal-materjal ipproċessat għal wavelengths differenti tal-laser. Fost dawn, il-wisa 'tal-polz hija parametru importanti li jaffettwa l-kwalità tat-tqattigħ, fil-fatt tirreferi għat-tul ta' kull polz wieħed tal-laser, fil-każ tal-istess qawwa u frekwenza, iżgħar tkun il-wisa 'tal-polz, iqsar il-ħin ta' azzjoni bejn il-laser u l-materjal ipproċessat, iżgħar iż-żona tas-sħana affettwata, li tista 'tnaqqas l-impatt negattiv tal-proċess ta' ablazzjoni fuq it-tarf. Barra minn hekk, l-għażla tal-lejżers jeħtieġ ukoll li tqis l-effiċjenza u l-kwalità, ġeneralment iktar ma jkun iqsar il-wavelength tal-lejżer, iżgħar tkun iż-żona affettwata tas-sħana tal-ipproċessar, iżda l-veloċità tal-lejżer hija bil-mod u l-effiċjenza hija baxxa.
Fil-preżent, hemm żewġ tipi ewlenin ta 'teknoloġiji ta' qtugħ bil-lejżer użati fil-qtugħ tal-wejfer tas-semikondutturi, jiġifieri qtugħ bil-laser stealth u qtugħ tal-ablazzjoni bil-lejżer. Iż-żewġ teknoloġiji għandhom il-karatteristiċi tagħhom stess, u t-tnejn juru l-vantaġġi li r-rota tat-tħin tradizzjonali ma tistax taqbel. Bl-iżvilupp kontinwu tat-teknoloġija tal-laser u l-maturità ta 'tagħmir relatat, il-qtugħ bil-lejżer se jokkupa pożizzjoni aktar dominanti fil-qasam tat-tqattigħ tal-wejfer tas-semikondutturi.
Xi'an Guosheng Laser Technology Co., Ltd hija intrapriża ta 'teknoloġija għolja li tispeċjalizza fl-R&D, manifattura u bejgħ ta' magna awtomatika tal-kisi tal-lejżer, magna tal-kisi tal-lejżer b'veloċità għolja, magna tat-tifi tal-lejżer, magna tal-iwweldjar bil-lejżer u tagħmir tal-istampar bil-lejżer 3D. Il-prodotti tagħna huma kost-effettivi u mibjugħa domestikament u barra. Jekk int interessat fil-prodotti tagħna, jekk jogħġbok ikkuntattjana fuq bob@gshenglaser.com.